着国内半导体及光伏行业的快速发展，对于高纯气体尤其是高纯特种气体的需求量及气体质量要求越来越高。

但特种气体大都具有有毒、易燃易爆、高腐蚀性、高氧化性等性质，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、稳定、地贮存和输送特种气体越来越受到重视。下面我们来谈谈特气安全运行与管理中需注意的事项。

1.严格按照安全操作规程作业

其实特气系统在投入使用前，安全的设计理念已贯穿其中，并且特气系统的操作和维护都有相应的标准操作规程。比如：特气系统日常操作如换瓶、维护等都要双人作业，通过监督以人员每一步操作遵照安全步骤进行。但尽管如此，特气事故还是时常发生。

事故统计表明，人的因素，是导致事故发生的重要因素几乎所有的特气责任事故都是由于操作人员没有严格按照操作规程来作业。

特气运行管理人员取得危险化学品管理安全资质、压力容器及压力管道作业资质，另外相关人员还需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的专业培训后方可上岗作业。

值得注意的是，很多特气事故往往都是具备一定經验的熟练运行人员造成的。究其原因是运行人员度过了新手对特气的恐惧阶段，并感觉掌握了特气的专业知识，因此在特气作业过程中精神不集中，跳过安全操作规程的某些步骤，终导致事故发生。